近年來，潔凈空調的使用在科研、醫療、高科技產品生產、實驗室以及電子產品、精密儀器生產領域已越來越廣泛。隨著潔凈空調使用范圍的不斷擴大，潔凈度的等級也在提高。不少潔凈空調通過精心設計、認真施工，獲得了成功，但也有的潔凈空調系統設計施工完成后因達不到潔凈度要求而降級使用，甚至報廢改作一般空調。潔凈空調系統的技術要求、施工質量要求高，投資大，一旦失敗，無論從財力、物力、人力上講都會造成浪費，因此要搞好潔凈空調系統，除**的設計圖紙以外，還要求高質量高水平的施工。本文通過潔凈空調工程的施工，將一些體會介紹給大家，供作交流。 1.制作風管的材料是確保空調潔凈度的基本條件 材料選用。潔凈空調系統風管一般采用鍍鋅鋼板加工。鍍鋅鋼板應選用優質板，鍍鋅層標準宜>314g/m2，且應鍍層均勻，無起殼，無氧化。吊架、加固框、連接螺栓、華司、風管法蘭、鉚釘均應采用鍍鋅件，法蘭墊料應采用有彈性、不產塵、有一定強度的軟橡膠或者乳膠海綿，風管的外保溫可采用容重32K以上難燃PE板，以專用膠粘貼，不得使用玻璃棉等纖維制品。  材料采購。材料采購必須按照計劃按品種選用同種產品中的有質量保證的制造商的產品。實物檢查時還應注意材料規格、材料光潔度，板材還應檢查平整度、邊角角方度、鍍鋅層的粘結度等。材料采購后運輸過程中還應注意保持完好的包裝，防潮、防撞擊、防污染。  材料保管。潔凈空調用材料應設立專用倉庫，或集中存放。存放處要干凈，無污染源，避免潮濕，特別是風閥、風口、消聲器等部件更應嚴密包裝存放。潔凈空調的材料要縮短倉庫存放時間，宜隨用隨進貨。制作風管用的板材應將整件運至現場，避免散件搬運途中引起的污染。  2.把好風管制作關，才能保證系統潔凈度。 2.1風管制作前的準備。加工制作潔凈系統的風管應在相對密封的室內進行。室內的墻壁宜光滑、不產塵、不積塵，地面可鋪設加厚塑料地板，地板與墻體結合處宜用膠帶封貼，避免灰塵產生。風管加工前，室內必須做到干凈，無塵、無污染。可在打掃擦洗干凈后用吸塵器反復清理。制作風管用工具必須用酒精或無腐蝕洗滌劑擦洗干凈后進入制作室內。制作用設備不可能也不必要進入制作室內，但必須保持干凈，無灰塵。參加制作的工員宜相對固定，人員進入制作場所必須配戴一次性無塵帽、手套、口罩，工作服應常換洗。制作用材料應經過二到三次酒精或無腐蝕清潔劑擦洗后，才能進入制作場所待用。 2.2潔凈系統風管制作要點。加工后半成品應再次擦洗后進入下道工序，風管下料咬口后應立即組合成型，不宜久放。風管法蘭加工要保證法蘭平面平整，規格要準確，與風管相配，以保證風管組合連接時接口密封性好。風管底部不得有橫向接縫，并且盡量避免縱向接縫，規格大的風管應盡量以整板制作，盡可能減少加強筋，必須設加強筋的也不得使用壓筋加強和風管內加強筋。風管制作應盡量采用聯合角或轉角咬口，6級以上的潔凈風管不得使用按扣式咬口。咬口處鍍鋅層損壞的、鉚釘孔處以及法蘭焊接處的鍍鋅層損壞的必須補做防腐。風管接縫翻邊裂縫處及鉚釘孔四周應涂以硅膠密封。風管翻邊必須平整均勻。翻邊寬度及鉚釘孔，法蘭螺孔必須嚴格按規范要求進行。柔性短管必須內壁光滑，一般可選用人造革或塑膠，風管檢查門墊料要用軟性橡膠。 3.潔凈風管的搬運、安裝是確保潔凈度的關鍵. 3.1安裝前的準備。潔凈空調系統安裝前必須按照潔凈室主要施工程序制定進度計劃，計劃必須與其他專業相協調，并且應嚴格按照計劃實施。潔凈空調系統安裝首先必須在建筑專業（包括地面、墻面、樓板）油漆、吸聲、高架地板等方面完成后進行。安裝前在室內完成風管定位、吊點安裝等工作，并對吊點安裝時損壞的墻壁面、樓板進行補漆處理。 3.2室內清潔后，將系統風管運入。風管搬運過程中應注意封頭的保護，風管進入現場前應進行表面清潔工作。 3.3參加安裝的工作人員需經吹淋后，穿戴無塵衣、口罩、鞋套才可進行施工。使用的工具、材料、部件要進行酒精擦洗，無塵紙檢查，符合要求后方可進入施工現場。 3.4風管管件、部件連接應邊打開封頭邊連接，風管內做到無油污，法蘭墊料應為不易老化有彈性強度的材料，并且不得直縫拼接。安裝后開口末端仍要保持封口狀態。 3.5風管保溫應在系統管路安裝及漏風檢測合格后進行，保溫完成后室內必須做到徹底打掃干凈。 4.關于潔凈室的防排煙。潔凈室啟用后一般均處在正壓狀態，且潔凈室間密閉性好，人流、物流通道曲折，一旦發現火警，疏散、撲救均較困難，同時，由于火源熱量不易散發，因此室內的材、物升溫快，易著火擴大火災面。 目前，國家《潔凈廠房設計規范》修訂稿GB50073-2001中對潔凈室內疏散走道、裝修材料及耐火極限作了嚴格的規定，對排風系統防火、防爆措施、防火閥設置、防排煙措施、消防給水、自動噴淋都作了具體規定。因此，對潔凈室的防排煙系統的施工必須遵照有關規定認真實施，特別要注意的是防排煙的布管及預埋件必須與建筑專業相配合，同步進行，確保不漏項。 5.認真有序試車，確保潔凈空調系統一次調試成功。 5.1潔凈空調系統安裝完成后必須對空調間、空調機房進行清理、清潔，一切無關的物件必須全部清除，并認真檢查空調間及機房的墻、頂、地面的油漆是否破壞并補全，認真檢查設備的過濾系統，對于送風系統末端可直接安裝風口（潔凈度6級以上系統可安裝**過濾器），認真檢查電氣，自動控制系統，供電系統，確認各系統完好后方可進行試車。 5.2制定詳細的試車計劃，安排參加試車的人員，準備必備的工、器、量具。 5.3試車必須在統一組織、統一指揮下進行。試運行過程中新風濾網2小時更換一次，裝有過濾器的末端應定時更換、清洗，一般4小時一次。試運行必須連續進行，運行情況可從自動控制系統了解各空調間、設備房的各項數據，并通過自動控制系統實施調節。潔凈空調試運行的時間必須符合GB50243-2002規范中規定的時間。 5.4經過試運行，系統達到穩定后可進行各項指標的測試。測試內容包括風量（風速）、靜壓差、空氣過濾器泄漏、室內空氣潔凈等級、室內浮游菌和沉降菌、空氣溫濕度、室內氣流流形、室內噪聲等項指標，也可按照設計潔凈度等級或在商定驗收狀態下的等級要求進行。要保證潔凈空調系統施工的成功，應抓住以下原則：1.嚴格把好材料采購關，把好工序無塵檢查關。2.建立各項制度，保證潔凈空調施工。3.加強施工人員的技術及素質教育。4.備足備全各種工具器具。 

藥生產企業保障生產環境中工廠選址、總平面設計、車間布局、設備選擇以及生產和產品質量的管理等這些“大問題”是重要監察點。但是，在凈化工程的設計和實施中，有一些細節也需要下工夫做足文章，否則很可能“千里之堤，潰于蟻穴”，花費巨大財力和精力建成的工程會因為一個風管的不合適或者人員的走動而達不到預期效果，影響藥品質量。  空調凈化需關注節能  空調凈化是能耗大戶，設計與施工中需關注節能措施。在設計中，系統及區域的劃分，送風量計算，溫度與相對溫度的確定，潔凈級別與換氣次數的確定，新風比，風管保溫，風管制作中的咬口形式對漏風率的影響，干管支管連接角度對氣流阻力的影響，法蘭連接是否漏風等以及空調箱、風機、冷水機組等設備選擇無一不與能耗有關，所以，這些細節必須要考慮到。  風管要求經濟與效率并重  在集中或凈化空調系統中，對風管的要求是既經濟又能有效地送風。前者要求體現在價格低廉，方便施工，運行成本，內表面光滑阻力小。后者是指嚴密性好，不漏氣，不發塵，不積塵，不污染，可耐火、耐腐蝕、耐潮濕。  在運行中，有時候管件的局部阻力大大高于風管的沿程阻力，這種狀況需要改善。管件主要有彎頭、變徑管三通及四通管。彎管的中心曲率半徑應大于矩形風管的邊長，圓形則采用1.25倍直徑。大斷面風管應在管內加導流片，以減少阻力。而在實際安裝施工中，較少如此處理。對于變徑管，不可突然變徑，宜作成漸擴（縮）管，漸擴管每邊擴展角應大于15°，漸縮管則每邊收縮角不大于30°。矩形風管的三通要順氣流彎管彎曲分流，支管也應有一定的曲率半徑。若要90°角分流，則應在彎頭內加導流片。  依據氣候條件選空調箱  關于空調箱的選擇，應考慮所處的氣候環境。如在冬季氣溫低、空氣含塵量大的北方地區，則應在通用的空調機組上增設新風預熱段，采用淋水式空氣處理方式，使其既對空氣洗塵又使其產生熱溫交換達到所要求的溫、濕度。而在氣候濕潤，空氣含塵濃度較低的南方地區，則冬季也無需對新風預熱，對空氣的過濾及溫、濕度的調節則采用初效過濾，表冷面調節溫濕度，也可加強溫減濕工序，再經中效過濾和終端過濾。空調箱配套風機較好采用變頻風機，這不僅節能，還可靈活調節風量風壓。  自控裝置保證全程調節  目前，有的生產廠家采用手動方式進行控制風量和風壓的調節，但由于控制風量和風壓的調節閥均在技術隔層，而且吊頂也都是彩鋼板的軟吊頂，基本上都是在安裝調試時調好，此后，大都沒再調節過，實際上也無法調節。為確保潔凈廠房的正常生產和工作，應設置一套較完整的自控裝置，實現以下功能：潔凈室空氣潔凈度、溫濕度、壓差監控、風閥調節；高純氣體、純水和循環冷卻水的溫度、壓力、流量的檢測；氣體純度、純水水質的監測等。  凈化空調系統的空氣過濾器隨運行時間的增加，阻力增大，為保持風量則需調節系統中的風閥。在統調試時系統啟動時，為使風機空載啟動，則需將風機出口處風閥關閉，風機啟動后，因風閥上承受很壓力，開啟十分困難。采用空氣過濾器前后壓差的變化控制風機的變頻調速裝置后，送風量的調節會變十分容易，送風壓力穩定。  這些監控裝置可設計成單個系統的測量，控制系統，也可設計成集散式計算機控制和管理系統。凈化空調系統在風機停轉無風或超溫時，電加熱器會繼續送電加熱，造成設備損壞甚至發生火災，為避免這種情況的出現，應設置無風以及超溫斷電的保護。  電話和火警設備不能  在潔凈廠房設置電話，對講電話，可以減少人員在潔凈區走動，減少發塵量，也可在萬一發生火災時及時與外部聯系，也為正常工作聯系創造條件。此外，還應設置火災報警系統，防止火情不易被外部發現而造成重大經濟損失。  多機冷水機組更靈活  冷水機組如果要求較大的制冷量，不宜選用單機，宜采用多機制，電機宜用變頻調速，以降低起動功率。多機可以靈活使用，不至于出現“大馬拉小車”的浪費能源現象。  空調機房宜在潔凈室側面  空調機房的位置，其位置宜在潔凈室的側面，這不但可以節能，也有利于風道的布置，并使氣流組織更加合理，同時，可以節省工程費用。

一、潔凈手術室空調機房結構設計，具備新風節能、大風量、高顯熱、**過濾、網絡控制等功能，滿足機房的高負荷長時間連續運轉的散熱要求。  二、潔凈手術室它是懸浮粒子濃度受控，其建造和使用方式使得進入、產生、滯留于室內的粒子較少的房間。室內的其它參數包括：溫度、溫度、氣壓等，按需要受控。（醫用潔凈室、工業潔凈室）。潔凈等級劃分：十級、百級、千級、萬級等靜態。聯邦209E標準：每立方英尺空間內粒徑為0.5um的粒子不超過多少個。 三、潔凈手術室空調機房日常維護保養相關。為使潔凈手術室發揮較大的效益，必須對手術室通風系統特別是空調機房內的設備定期的維護與保養,使之在正常狀態下運轉。保證潔凈手術室各項指標在標準之內，下面著重闡述通風系統特別是空調設備的維護與保養。 A、每日巡查極其運轉并做好記錄，特別對水泵、壓縮機、電機、水系統的壓力、溫度。 B、每天做好記錄手術室的溫度、濕度、與走廊的壓差、電壓、電流、電量等相關。 C、每月清掃機房衛生，機組應保持干凈整潔，無灰塵。 D、每月清掃一次新風口過濾網，將雜物清干凈，回風口每周消毒清擦一次。 E、每月檢查風閥位置是否變動、松動，如有則及時調整擰緊。 F、每個月清洗或更換初效過濾器，清洗2-3次后報廢更換新的。應將機組內壁的灰塵清擦干凈，較后用消毒液清擦，消毒。 J．每二到三個月清洗或更換中效過濾器。 K．**過濾器一般使用半年后報廢更換新的。 L、每季度給風機軸承加油一次，調整風機皮帶張緊度，緊固螺絲，防止松動。 N、每半年將機組內表冷器用清水沖洗，排水口處用抹布擦干凈，并消毒。 M、冷凝水排水口不得有污物，死水。 O、配電箱、控制箱是機房的心臟,每半年清掃灰塵一次，對燒蝕的開關、接觸器及時更換，并防止鼠蟲咬壞線纜。 P、風冷水循環機組在夏季來臨前，一定關閉熱水給回水的閥門，開啟室外空調機組的給回水閥門，檢查試運行循環水泵和備用水泵，嚴禁在室外機組工作狀態下，循環水泵處于停機狀態，避免壓縮機和交換器凍壞。 Q、風冷水循環機組在冬季來臨前，一定做好防凍工作，室外機組管道內的水一定放干凈，可以拆開一節閥門開春再組裝。巡視水管各閥門的開閉狀態，室外機組的管道閥門一定要關閉，熱水給回水閥門一定要開啟。 Z、空調管道內的水，較好在每年過度季節更換一次，避免水中雜質沉積。

為營造無塵房良好的工作環境，真正做到無塵作業，保證產品品質，滿足客戶需求，特制定無塵房環境管理制度，希望所有相關人員嚴格執行:1.車間人員進入無塵房均需穿防靜電工作服、工作帽和專用布鞋。2.工作帽要戴正，長發和劉海要裹到帽子里面；防塵服的拉鏈要拉好；布鞋要穿好，不可當拖鞋拖，不允許光腳在車間內行走。3.車間管理人員、質檢與員工的衣著區別是：管理人員和質檢著黃色無塵服，員工著藍色無塵服。4.工作服、工作帽嚴禁穿到二樓以外區域；車間專用布鞋只能在車間和更衣室穿，嚴禁穿到其它區域。5.上衛生間或到半成品庫取料必須換鞋或穿鞋套。6.自己的鞋子必須放到柜子里面，不能放到更衣室的地面上。7.防塵服、工作帽、布鞋要勤洗勤換，保持干凈衛生。

一、潔凈室工程是集成電路產業發展較先受益的環節潔凈室工程是集成電路制造環節中重要的一環，直接決定了較終產品的成敗。現代集成電路制造工藝已經達到 14 納米級別，未來幾年內 7 納米工藝即將誕生，集成電路的制造過程一般為自動化軟件把算法邏輯生成硬件電路開始，然后將集成電路設計版圖轉印到光刻板上，集成電路的基礎制造材料是硅片，硅片經過各種表面處理后，與光刻板一起經過包括光刻、熱處理、介質沉積、化學機械研磨等工藝較終形成集成電路芯片。如果生產過程中潔凈程度達不到要求，產品良品率會受到很大影響，較終產品就會失敗。隨著技術的進步，集成電路對潔凈度的要求越來越高。一般而言，當微粒尺寸達到集成電路節點一半大小時就成為了破壞性微粒，對集成電路的制造產生影響。比如，14 納米工藝中 7 納米的微粒就會影響制造過程。隨著集成電路的工藝越來越高，目前 5 納米的工藝已經開始研發，集成電路制造過程需要的潔凈程度越來越高，對于潔凈室工程的技術提出越來越高的要求。集成電路幾乎所有環節都需要潔凈室內完成，且集成電路生產對潔凈度 要求很高。和其他產業不同，集成電路產業鏈幾乎所有的主要環節都需要在潔凈環境中進行，從單晶硅片制造，到 IC 制造的幾乎所有環節，到 IC 封裝的重要步驟都需要在潔凈室中完成，且對于潔凈度的要求非常高。二、集成電路產業投資未來將長期保持高增長1、根據產業投資計劃，未來5年我國集成電路投資將達萬億    在未來 4-5年間我國投入集成電路制造領域的資金將達到1.2萬億元，年均投資額超過去5年平均的2倍以上，未來3年投產12寸晶圓廠數量占全球比例 40%。根據整理的數據，目前在建和計劃建設的集成電路項目合計總金額達到 1.2 萬億元，絕大部分將在 2021 年前投產。根據報告，目前全球處于規劃或建設階段，預計將于 2017 年～2020 年間投產的半導體晶圓廠約為 62 座，其中 26 座設于中國，占全球總數 42%。這些建于中國的晶圓廠 2017 年預計將有 6 座上線投產，2018 年達到高峰，共 13 座晶圓廠加入營運，其中多數為晶圓代工廠。 2、根據產業規律以及目前發展階段，IC投資將長期高增長（1）根據產業發展規律，我國集成電路投資長期將保持高增長    集成電路產業投資兼具周期性和高速成長性。具體來說，一般每 3-5年左右會有一個投資周期，有高峰有低谷，但下一個周期的年均投資額度將顯著大于前一個周期。周期性的背后是集成電路產品的產量，需求，價格以及技術升級共同決定的。隨著技術升級，集成電路制造投資金額成倍甚至數十倍增加，目前一條 12 英寸 32/28nm 的生產線投資高達50 億美元，14nm 的生產線投資額高達 100 億美元，技術研發費用同理，從 20nm 升級到 16nm，**者研發費用從 12 億美元上升到 22 億美元，上升 80%。加上技術升級快，需要持續投入建設生產線以形成規模優勢，僅依賴一條生產線難以形成氣候，故集成電路制造投資非常之高。三星電子從 1993-2017 年的半導體資本支出大致有 5 個小周期，每個小周期的平均投資金額都高于上個小周期的平均投資金額，這對應著背后技術的升級周期，以 DARM 存儲器為例，1990 年 16M DARM 存儲器投產，后續基本每 3-4年 DARM 存儲器容量升高 4 倍，到 2001 年左右 4G DARM 開始投產，每次技術升級的投產需要投入更高的資金。三、與產業投資增速同步，潔凈室工程市場將迎來爆發    （1）計算2010 年以來我國集成電路產業投資額度，主要通過所有已經公布的國內集成電路已完成、在建設以及未開工的投資項目根據工期分拆投資金額，然后加總求和。    根據現有已經宣布或建成的項目，2011-2021年集成電路累計投資高達 1.33萬億，2016-2019 年投資金額分別為 942 億，2064億，3399億，2100億。搜集整理了近年來我國所有的已建成、正在建設、計劃建設的集成電路項目，并根據項目工期估計每個項目每年的投資金額，較后加總得到每年我國集成電路的總投資金額，根據計算，我國集成電路項目投資在 2016 年開始高速增長，2016-2019 年投資金額分別為 942 億，2064億，3399 億，2100 億，增速分別為 66%，119%，65%，-38%。    若考慮潛在的投資增長率，2020-2021 年的投資金額分別為2764億，3593億。2016-2019 年是集成電路投資密集的一個小周期，目前我國在建和計劃建設的晶圓廠項目大多在 2019 年完成投產，假設下一批宣布建設的項目從 2020 年開始建設，以 2016-2019年平均投資金額 2126 億為基數，參考韓國三星電子半導體追趕期間資本支出復合增長率，以 30%計算，2020-2021 年的投資金額分別為 2764 億，3593 億。   通過之前的分析，根據潔凈室工程市場以及各個環節與總投資的比例關系，計算出未來幾年各個細分環節的市場容量。    潔凈室工程設計占總投資比例 0.4-1.4%，按照保守比例，即集成電路廠房工程設計占集成電路總投資比例 0.4%計算，預計2016-2019 年我國集成電路廠房設計市場規模為分別為 3.8億，8.3億，13.6億，8.4億，則 若考慮潛在的投資增長率，則2020-2021年為集成電路工程設計規模分別為 11.1億，14.4億。    集成電路潔凈室施工金額占集成電路總投資比例 10-15%，取保守比例10%計算，預計 2016-2019 我國集成電路潔凈室工程市場規模分別為94億，206億，340億，210億，若考慮潛在的投資增長率，則 2020-2021年為潔凈室市場規模為276億，359億。通過比較 2011 年到2015年國家統計局集成電路固定資產投資額與計算的集成電路 固定資產投資額，來大致檢驗方法的可行性。    2011 年到2015 年國家統計局統計的集成電路固定資產投資額與計算的集成電路固定資產投資額相差在15%之內，說明測算方法大致可靠，增加了未來市場測算結果的可靠性。通過國家統計局的數據，可以得知 2011-2015 年我國集成電路制造固定資產投資完成額為 306 億，344 億，579 億，645 億，671 億，根據計算的集成電路制造總投資，從而可以計算出每年的固定資產投資額，將國家數據與數據相比較，比例為 85%，證明我們統計的數據偏低，偏差 15%，主要原因是我們統計的總投資額沒有包括6 寸晶圓廠和部分 8 寸晶圓廠的投資，而在 2011-2015 年間投資的晶圓廠項目主要是 6寸和 8 寸項目，所以導致數據偏低，但是偏差范圍在可接受范圍之類。

全球半導體行業穩定向好,中國市場如火如荼也帶動了整個潔凈室產業的發展。綜合來看,三因素決定我國半導體行業的高速發展:1)國內半導體銷售占比和增速遠高于全球平均水平,半導體市場消費基數維持高位。2)我國半導體設備支出占比小增速快,設備市場增長空間大。3)半導體貿易逆差持續維持1,600億美元高位,“進口替代”大勢所趨。國家意志導向,政策+資金雙管齊下促國內半導體行業發展。集成電路是當今信息技術產業高速發展的基礎和源動力,其技術水平和發展規模已成為衡量一個國家產業競爭力和綜合國力的重要標志之一。近年來一系列的政策出臺鼓勵國內半導體行業的發展,半導體“大基金”為國內半導體行業發展提供直接支持,一期募集資金1。387億元,加上地方政府共募集集成電路基金共計5,145億元,共計6,532億元。國家基金和地方基金的設立,將能有力提高集成電路領域的投資能力,克服單次投資規模大,企業投資能力不足的缺陷,促進集成電路投資的加速發展,從而釋放相關設備領域的需求。國內承接第三次半導體產能轉移,產業鏈優秀公司持續受益。當前,在以iPhoneX為風向標的新一代智能手機、物聯網和人工智能的發展推動下,半導體產業在我國興起,伴隨而來的是第三次半導體產能轉移。現階段我國在IC設計、晶圓制造、封裝測試領域已取得不菲成績,關鍵技術和設備上完成了突破,逐步滲透入先進制程的供應鏈中,我們認為潔凈室行業形勢大好,設備領頭羊北方華創、晶盛機電,封測企業長川科技等優秀公司直接受益產業高景氣度,有望在國外技術壟斷下率先突圍。國內晶圓廠的擴建完善基礎設施、促進國內外技術合作,助推產能轉移。根據SEMI預計2017-2020年間投產的有62座半導體晶圓廠,量產晶圓廠占多數,其中26座設于大陸,占全球總數的42%。據我們統計和測算,目前中國大陸共有34座12英寸晶圓廠,其中投產11座,在建15座,規劃8座,國內半導體行業高景氣度持續。從需求端看,按設備支出大約占半導體資本總支出的60%估算,未來3-4年,晶圓廠建設釋放的1,3052億元投資將為半導體設備行業提供7,831億元的下游市場空間,設備企業將率先獲益。